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          日本SAMCO 深硅蝕刻設(shè)備 RIE-400iP
          
                    
          簡(jiǎn)要描述：The RIE-400iP是一種高性能電感耦合等離子體(ICP)蝕刻系統(tǒng)，它使用高密度等離子體來執(zhí)行光電器件和電子元件所需的化合物半導(dǎo)體蝕刻。
          
                    
            
                        
          • 更新時(shí)間：2025/6/5 5:08:21
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          • 訪  問  量：1101
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          • 產(chǎn)品型號(hào)：RIE-400iP
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          詳細(xì)介紹
          
            
          
                
          
                 
          
	
		
          
			
			
           
          

			
          

			
           
          
			          		
		
          
		
          
			
			
          The RIE-400iP是一種高性能電感耦合等離子體(ICP)蝕刻系統(tǒng)，它使用高密度等離子體來執(zhí)行光電器件和電子元件所需的化合物半導(dǎo)體蝕刻。
          

			

          
			該系統(tǒng)專為研發(fā)和中試生產(chǎn)客戶設(shè)計(jì)，需要高規(guī)格，多功能和強(qiáng)大的系統(tǒng)，具有出色的工藝技術(shù)。
          

			
           
          
			          		
		
          
	          

          


           
          


           
          


          
	
		
          
			
			
          系統(tǒng)配置
          

			

          
			●  配備先進(jìn)的ICP源：HSTC™(Hyper Symmetrical Tornado Coil) 可
          
			    實(shí)現(xiàn)高度均勻且精確的蝕刻
          
			●  獨(dú)創(chuàng)的ESC (靜電卡盤)提高了導(dǎo)熱性，可使晶圓片的溫度
          
			    更為均勻
          
			●  高速排氣系統(tǒng)且占地面積小
          
			●  強(qiáng)化腔室設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)工藝穩(wěn)定性和可重復(fù)性
          
			●  優(yōu)秀的工藝庫和技術(shù)
          
			●  高達(dá)ø4“(100毫米)晶圓
          
			●  人性化的操作界面
          
			●  易于維護(hù)
          

			
           
          

			
           應(yīng)用場(chǎng)景 
          
			          		
			
			
          尺寸
          

			
           
          

			
          

			
           
          

			
           
          
			          		
		
          
		
          
			
			
          

			
          GaN Power Device
          
			          		
			
			
          

			
          GaAs VCSEL
          
			          		
			
			
           
          

			
          

			
          InP Laser
          
			(Cone shaped ICP Coil)
          
			          		
		
          
		
          
			
			
           
          

			
          設(shè)備參數(shù)
          

			
          

			
           
          

			
           
          
			          		
			
			
           
          

			
          常務(wù)需求
          

			
          

			
           
          

			
           
          

			
           
          

			
           
          

			
           
          

			
           
          
			          		
		
          
	          

          


           
          


          

                
          
                
           

          
            
          
            
          產(chǎn)品咨詢
          
            
          
               
          
                
                
          
                  
          
                    
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